ITO靶材應用與解決方案
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ITO靶材應用與解決方案




氧化銦錫(ITO)晶體結構

 

    氧化銦錫(ITO)是通過用錫摻雜In2O3而形成的n型半導體,晶體結構是In2O3結構,其中In2O3結構具有兩種形態,一種是立方鐵錳礦結構,另一種是六方剛玉結構。立方鐵錳礦結構是最常見的In2O3結構,如圖1所示。當將氧化錫摻雜到氧化銦中以形成氧化銦錫固溶體時,一種高度簡并的n型半導體得以產生,其中一定數量的In3+位置被Sn4+取代了,導致ITO晶格中出現大量點缺陷,同時產生大量自由電子,點缺陷和自由電子可充當電場下的載流子,因此表現出了優異的導電性能。


ITO 體心立方鐵錳礦結構

 

ITO靶材特點

 

ITO

 

 


 

ITO薄膜工藝

 

    ITO在各種領域中的應用,均圍繞其透明和導電的優異特性。ITO薄膜的光學性質主要受兩方面的因素影響:光學禁帶寬度和等離子振蕩頻率。前者決定光譜吸收范圍,后者決定光譜反射范圍和強度。一般情況下,ITO在短波區吸收率較高,在長波長范圍反射率較高,可見光范圍透射率最高。以100nm ITO為例,400900nm波長范圍平均透射率高達92.8%。

 

    ITO薄膜的性能主要由制備工藝決定,熱處理常作為輔助優化的手段。為獲得導電性好,透射率高以及表面形貌平整的ITO薄膜,需選擇合適的沉積手段和優化工藝參數。常見的鍍膜方式包括電子束蒸發和磁控濺射。

 

    電子束蒸發的主要原理:高真空環境下,通過電子槍發出的高能電子,在電場和磁場作用下,電子轟擊ITO靶材表面使動能轉化為熱能,靶材升溫,變成熔融狀態或者直接蒸發出去,在襯底表面沉積成ITO薄膜。

 

電子束蒸發鍍膜原理

 

    磁控濺射屬于輝光放電范疇,利用陰極濺射原理進行鍍膜。膜層粒子來源于輝光放電中,氬離子對陰極ITO靶材產生的陰極濺射作用。氬離子將靶材原子濺射下來后,沉積到襯底表面形成所需ITO膜層。

 

磁控濺射原理圖

 

ITO應用

 

    ITO下游產業主要是平板顯示產業中的導電玻璃技術,即在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎上,鍍上一層氧化銦錫膜加工制作成的。在平板顯示產業中應用在觸摸屏和液晶面板領域。觸摸屏領域應用的是TPITO導電玻璃,而液晶面板領域應用的是LCDITO導電玻璃,兩者的主要區別在LCDITO導電玻璃還會在鍍ITO層之前,鍍上一層二氧化硅阻擋層,以阻止基片玻璃上的鈉離子向盒內液晶里擴散。

 

 

液晶顯示器:

 

    液晶顯示器主要使用ITO導電玻璃。

 

    液晶顯示器之所以能顯示特定的圖形,主要是將導電玻璃上的透明電極蝕刻制成特定形狀的電極,在這些電極上加適當電壓信號后,使具有偶極矩的液晶分子在電場作用下特定的方面排列,進而顯示出與電極波長相對應的圖形。目前液晶顯示器的透明電極以ITO的透光率和導電性能最好,而且容易在酸液中蝕刻出微細圖形。

 

觸摸屏:

 

    無論是電阻式觸摸屏還是電容式觸摸屏,工作面都是基于ITO涂層。

 

    電阻式觸摸屏,當表面被觸摸時向下彎曲,并使得下面隔開的兩層ITO涂層能夠相互接觸并在該點連通電路,電阻發生變化,在X和Y兩個方向上產生信號,然后送觸摸屏控制器。

 

    表面電容觸摸屏只采用單層的ITO,當手指觸摸屏表面時,就會有一定量的電荷轉移到人體。為了恢復這些電荷損失,電荷從屏幕的四角補充進來,各方向補充的電荷量和觸摸點的距離成比例,由此推算出觸摸點的位置。

 

    有IPHONE引領的投射電容觸摸屏采用多層ITO層,形成矩陣式分布,以X軸、Y軸交叉分布做為電容矩陣,當手指觸碰屏幕時,可通過X、Y軸的掃描,檢測到觸碰位置電容的變化,進而計算出手指之所在。基于此種架構,投射電容可以做到多點觸控操作。

 

 

 

    另外IIO薄膜在幕墻玻璃、太陽能電池、航空航天飛機、汽車上的防霧玻璃、微波屏蔽和防護鏡、傳感器等眾多領域得以廣泛應用。


 

ITO發展現狀

 

    長期以來,ITO靶材的核心技術都被三井、東曹、日立、住友、JX、三星康寧、優美科等大企業把持,他們所采用的常壓燒結技術已經較為成熟。

 

    我國是全球ITO靶材最大需求國,需求量占全球25%。作為顯示面板的重要原料,盡管ITO靶材已經進入紅海市場,但國產化率并不高,在2019年之前,約90%ITO靶材需要依靠進口。

 

    國內雖然有20多家靶材企業,但進展并不順利,普遍沒能做到批量供應。直到2017年,國產ITO靶材產品和技術水平大幅提升,逐漸追上國際領先水平,國內代表性企業有先導集團、映日科技、晶聯光電、歐萊靶材。

 

    隨著OLED取代LCD成為顯示技術的主流,ITO靶材市場需求或將不再高速增長,轉為平穩發展趨勢。

 

    另一方面,ITO靶材市場的價格戰已經持續良久,盡管現階段市場有漲價趨勢,但國內布局ITO靶材業務的企業不在少數,市場競爭壓力也將日趨激烈。

 


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